特許

J-GLOBAL ID：200903012448008774

圧電素子及びそれを用いた圧電アクチュエータ

発明者： 渡部 嘉幸 ,  定村 茂 ,  染次 孝博
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-070771
公開番号（公開出願番号）：特開平8-242023
出願日： 1995年03月03日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【目的】 安価で耐湿性が高く且つ内部応力もなくクラック等も発生し難い圧電素子を提供する。【構成】 圧電シート2の表面に、その端辺2Aから所定の間隔Dを隔てて内部電極4を形成することにより、圧電不活性領域24を設けた圧電素子板21を形成し、この圧電素子板を複数枚積層してなる圧電素子において、前記圧電素子板の前記圧電不活性領域に、収縮率整合薄膜28を形成するように構成する。これにより、圧電不活性領域と圧電活性領域における圧電シートの収縮状態を略同一とし、内部応力の発生を抑制してクラック等の発生を防止する。

請求項（抜粋）：

圧電シートの表面に、その端辺から所定の間隔を隔てて内部電極を形成することにより、圧電不活性領域を設けた圧電素子板を複数枚積層してなる圧電素子において、前記圧電素子板の前記圧電不活性領域に、収縮率整合薄膜を形成したことを特徴とする圧電素子。

IPC (3件)：

H01L 41/083 ,  H03H 9/02 ,  H04R 17/00 330

FI (4件)：

H01L 41/08 Q ,  H03H 9/02 J ,  H04R 17/00 330 E ,  H01L 41/08 N