特許
J-GLOBAL ID：200903012448844963
電気信号測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-301832
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160110
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 高速な被測定電気信号を高精度に測定し得る電気信号測定装置を提供する。【構成】 レーザ駆動の基準となる信号を発生する第一シンセサイザの出力を分岐した信号を電気的に高次高調波成分を有する信号に変換する高調波発生器に入力することで得られた信号と、第一シンセサイザと位相が同期し、かつ第一シンセサイザが出力する信号の周波数の自然数倍の周波数に低周波のビート周波数を加えた周波数の信号を発生する、被測定回路駆動の基準となる第二シンセサイザの出力を分岐した信号とを、ミキサに入力し、ミキサから出力された信号に適当なバンドパスフィルタを接続することで、EOサンプリングによってダウンコンバートされた被測定信号の繰り返し周波数と同一の周波数を持つ信号を発生し、その信号を波形測定器の波形取込み用基準信号として入力し、EOサンプリングによってダウンコンバートされた被測定信号を測定する。
請求項（抜粋）：
結合する電界強度によって複屈折率が変化する電気光学材料に被測定回路の配線を伝播する被測定電気信号に起因する電界を結合させ、前記電気光学材料にレーザ光を照射し、前記電気光学材料の複屈折率変化によって偏光変化を受けた前記レーザ光を偏光検出器で低速電気信号に変換し、該低速電気信号を波形測定器で測定することで前記被測定電気信号を測定する電気信号測定装置において、繰り返し信号を発生する第一シンセサイザと、該第一シンセサイザから出力される信号を分岐し第一レーザ基準信号と第二レーザ基準信号を出力する第一パワースプリッタと、前記第一レーザ基準信号からレーザ光を発生するレーザ光源と、前記第二レーザ基準信号から電気的に高調波信号を発生する高調波発生器と、前記第一シンセサイザと位相が同期し、かつ第一シンセサイザが出力する信号の周波数の自然数倍の周波数に低周波のビート周波数を加えた周波数の信号を発生する第二シンセサイザと、該第二シンセサイザから出力される信号を分岐し第一回路基準信号と第二回路基準信号を出力する第二パワースプリッタと、前記第一回路基準信号から前記被測定回路を駆動する信号を発生する信号発生器と、前記第二回路基準信号と前記高調波発生器から出力される信号とから、両者の信号の和周波数と差周波数の信号を発生するミキサと、該ミキサから出力される信号の中で前記ビート周波数を有する信号だけを通過させ、前記波形測定器の波形取込み用基準信号を出力するバンドパスフィルタとを有することを特徴とする電気信号測定装置。
IPC (4件)：
G01R 31/302
, G01R 15/24
, G01R 19/00
, H01L 21/66
G01R 31/28 L
, G01R 15/07 C
