特許
J-GLOBAL ID：200903012452365271
振幅検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067131
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281447
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 探針を加振し、検出部より該加振周波数に依存する信号を検出し、該検出信号の振幅変化分を探針制御系の入力信号として利用する走査型プローブ顕微鏡の計測制御系の高帯域化、高速安定化、分解能向上を目的とする。【構成】 検出信号すなわち差動信号S2を周波数てい倍し、該周波数てい倍された2乗信号SSをコンパレータにより2値化し、2値化されたサンプル信号SPにより元の差動信号S2の絶対値化された信号である絶対値信号SAをサンプリングすることにより、差動信号S2の振幅変化分を算出する。
請求項（抜粋）：
探針を加振し、検出部より該加振周波数に依存する信号を検出し、該検出信号の振幅変化分を探針制御系の入力信号として利用する走査型プローブ顕微鏡の計測制御部において、該加振周波数に依存する信号を周波数てい倍し、該周波数てい倍された信号をコンパレータにより2値化し、2値化信号により元の加振周波数に依存する信号の絶対値化した信号をサンプリングすることにより、該検出信号の振幅変化分を算出することを特徴とする振幅検出方法。
IPC (2件)：
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