特許
J-GLOBAL ID：200903012460819532
固体撮像素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-185994
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027196
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】各受光部に対向する位置に入射光を集光させる凸レンズを設けた固体撮像素子において、レンズ・パターンをくずすことなく単位画素ピッチ近傍の入射光を効率よく集光し、感度向上を図る。【構成】半導体基板1上に配列した複数の受光部2に前記受光部2の表面を平坦化してなる平坦化層7を積層し、前記複数の受光部2に対向する位置にそれぞれ集光する凸レンズ8を形成した固体撮像素子において、空気より屈折率の大きい前記凸レンズ8の各隣接間に凹レンズ9となる溝を形成する。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に配列した複数の受光部と、受光部で生成した電荷を転送・出力する転送レジスタを備え前記受光部の表面を平坦化してなる透明平坦化層を積層し、前記複数の受光部に対向する位置にそれぞれ集光する凸レンズを形成した固体撮像素子において、空気より屈折率の大きい前記凸レンズの各隣接間に溝を形成したことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3件)：
G02B 27/00
, H01L 27/14
, H04N 5/335
