真空蒸着装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314431
公開番号（公開出願番号）：特開平10-152769
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】電子ビームの偏向角度を安定できる真空蒸着装置を提供することにある。【解決手段】真空チャンバ42内の蒸発槽31上の側方より電子ビーム40を水平方向に放射するように設けた電子ビーム発生装置38と、この電子ビーム40を前記蒸発槽31内の溶融金属30に偏向させる偏向コイル34と、前記蒸発槽31の上方に設けたプラスチックフィム29を巻掛ける冷却ロール41を具え、前記蒸発槽31の電子ビーム入側におけるプラスチックフィルム板幅方向両端において、前記蒸着層上面より下方に下部ポールピース35をそれぞれ設け、更に、前記蒸発槽上面より上方に上部ポールピース1をそれぞれ設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空チャンバ内の蒸発槽上の側方より電子ビームを水平方向に放射するように設けた電子ビーム発生装置と、この電子ビームを前記蒸発槽内の溶融金属に偏向させる偏向コイルと、前記蒸発槽の上方に設けたプラスチックフィルムを巻掛ける冷却ロールを具え、前記蒸発槽の電子ビーム入側におけるプラスチックフィルム板幅方向両端において、前記蒸発槽上面よりも下方に下部ポールピースをそれぞれ設け、更に、前記蒸発槽上面より上方に上部ポールピースをそれぞれ設けたことを特徴とする真空蒸着装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-229061
特開平3-039465
液位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-065653 出願人：レーザー濃縮技術研究組合, 三菱重工業株式会社

審査官引用 (3件)

特開平4-229061
特開平3-039465
液位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-065653 出願人：レーザー濃縮技術研究組合, 三菱重工業株式会社

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