特許
J-GLOBAL ID：200903012474048130
干渉縞画像の補正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136832
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329514
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 電気的な撮像データを用いて、同時的に得られる3つの干渉縞画像のコントラストや輝度を自動的に調整できるような位相シフト干渉縞の同時計測装置の画像補正法を得るにある。【解決手段】 被検面からの試料光と参照面からの参照光によって干渉縞を生成する光波干渉計において、干渉縞を撮像する撮像処理手段によって取得された干渉縞画像データから各部位のコントラスト値とバイアス値を求め、前記各部位間で、前記コントラスト値とバイアス値の相互差異を解消するように前記干渉縞画像データを補正変換し、補正変換後の干渉縞画像データを用いて、画像解析あるいは干渉縞画像表示を行う。
請求項（抜粋）：
被検面からの試料光と参照面からの参照光によって干渉縞を生成する光波干渉計において、干渉縞を撮像する撮像処理手段によって取得された干渉縞画像データから各部位のコントラスト値とバイアス値を求め、前記各部位間で、前記コントラスト値とバイアス値の相互差異を解消するように前記干渉縞画像データを補正変換し、補正変換後の干渉縞画像データを用いて、画像解析あるいは干渉縞画像表示を行うことを特徴とする干渉縞の画像補正方法。
Fターム (12件)：
2F064AA09
, 2F064CC01
, 2F064EE01
, 2F064FF01
, 2F064GG22
, 2F064GG23
, 2F064GG32
, 2F064GG38
, 2F064GG53
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ02
