特許

J-GLOBAL ID：200903012485083700

ポジ型感放射線性組成物

発明者： 妹尾 将秀 ,  田村 一貴 ,  仁王 宏之
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-186416
公開番号（公開出願番号）：特開2004-029437
出願日： 2002年06月26日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】高感度と高解像度の特性を併せ持ち、さらに基板との密着性、およびアルカリ現像液との親和性の良いポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】(a)酸の作用によりアルカリ可溶性となる構造単位、ラクトン骨格を有する構造単位、およびフェノール性水酸基を有する構造単位の全てを含有する重合体、および(b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有するポジ型感放射線性組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(a)酸の作用によりアルカリ可溶性となる構造単位、ラクトン骨格を有する構造単位、およびフェノール性水酸基を有する構造単位の全てを含有する重合体、および(b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。

IPC (6件)：

G03F7/039 ,  C08F212/14 ,  C08F220/16 ,  C08F220/28 ,  C08F220/30 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G03F7/039 601 ,  C08F212/14 ,  C08F220/16 ,  C08F220/28 ,  C08F220/30 ,  H01L21/30 502R

Fターム (41件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AB07R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA05P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA40P ,  4J100BA40R ,  4J100BB01P ,  4J100BB01R ,  4J100BB03P ,  4J100BB03R ,  4J100BB10P ,  4J100BC43P ,  4J100BC43R ,  4J100BC49Q ,  4J100BC53Q ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100FA03 ,  4J100FA04 ,  4J100FA18 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ポジ型感放射線性組成物およびこれを用いたレジストパターンの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-352489   出願人：東レ株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-152582   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-211368   出願人：富士写真フイルム株式会社