特許

J-GLOBAL ID：200903012501599496

単結晶引上装置及びその制御方法

発明者： 久一 俊雄
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-192994
公開番号（公開出願番号）：特開2007-008773
出願日： 2005年06月30日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：

【課題】 高重量無転位単結晶のテール部を形成中または形成後の工程において、ネック部が破断するような大きな地震等の揺れが発生しても、単結晶の落下を回避できる引上装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】 チョクラルスキー法によってルツボ3から単結晶Cを引上げる単結晶引上装置1において、単結晶Cの引上げを行う引上げ手段5と、前記単結晶Cの引上げ通路に沿って昇降自在に設けられ、下端に単結晶Cのテール部を抱持するための抱持手段16を有する支持手段7と、所定値以上の振動を検知する振動検知手段17と、前記支持手段7の動作制御を行う制御手段8bとを備え、前記制御手段8bは、単結晶Cのテール部が形成されると、前記抱持手段16が該テール部近傍に常時位置するよう、支持手段7の昇降動作を制御し、前記振動検知手段17が所定値以上の振動を検知すると、前記抱持手段16により前記テール部を抱持させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

チョクラルスキー法によってルツボから単結晶を引上げる単結晶引上装置において、 単結晶の引上げを行う引上げ手段と、前記単結晶の引上げ通路に沿って昇降自在に設けられ、下端に前記単結晶のテール部を抱持するための抱持手段を有する支持手段と、所定値以上の振動を検知する振動検知手段と、前記支持手段の動作制御を行う制御手段とを備え、 前記制御手段は、前記単結晶のテール部が形成されると、前記抱持手段が該テール部近傍に常時位置するよう前記支持手段の昇降動作を制御し、前記振動検知手段が所定値以上の振動を検知すると、前記抱持手段により前記テール部を抱持させることを特徴とする単結晶引上装置。

IPC (2件)：

C30B 29/06 ,  C30B 15/00

FI (2件)：

C30B29/06 502Z ,  C30B15/00 Z

Fターム (8件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG27 ,  4G077EG30 ,  4G077EH10 ,  4G077HA12 ,  4G077PF51

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特公平7-103000号公報