ピンホールおよびピンホールを備えた干渉計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267924
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097614
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】アスペクト比が10以上である直径1μm以下の寸法の光通過穴を容易にかつ低コストで作成でき、耐久性を高めたピンホールを提供する。【解決手段】アルミニウム製の基板30の中央部に陽極酸化部35を形成する。陽極酸化部35は多孔質状に形成され、複数の穴36が自発的に形成されている。複数の穴36が貫通するように陽極酸化部35の裏面から基板30を切削して薄板部31を形成する。これにより、複数の光通過穴33が形成された陽極酸化膜32が形成される。陽極酸化膜32の領域とほぼ等しい径の光を陽極酸化膜32の部分に入射すると、複数の光通過穴33を通過した複数の光束があたかも微小の穴を通過した光のごとく射出する。干渉計のピンホールに使用された場合には球面波が射出される。

請求項（抜粋）：

基板に入射する光を光通過穴から射出させるピンホールにおいて、前記基板の少なくとも一部分を陽極酸化させ、そこに自発的に形成された複数の穴を貫通させて前記光通過穴を形成したことを特徴とするピンホール。

Fターム (9件)：

2F064AA09 , 2F064BB03 , 2F064CC10 , 2F064FF01 , 2F064FF10 , 2F064GG20 , 2F064GG44 , 2F064HH08 , 2F064KK04

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