特許
J-GLOBAL ID:200903012511360785
光導波路アレイの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-158250
公開番号(公開出願番号):特開平5-005812
出願日: 1991年06月28日
公開日(公表日): 1993年01月14日
要約:
【要約】【目的】 光書き込み装置、光読み取り装置、光学集積回路などの光伝送路として用いられる光導波路アレイについて、本発明のスタンパを用いることにより、伝搬損失が非常に小さく、クラッド部の幅に比べてコア部の幅を充分にとることができ、コア部の断面形状を自由に形成できる光導波路アレイの製造方法を提供することを目的とする。【構成】 本発明の本実施例により形成されるスタンパ10は、鏡面加工されたブロック12と、ブロック12よりも幅が広く、かつ高さが高いブロック13とが、底面の高さを合わせて交互に積層されており、積層部はクランプ14で保持されている。
請求項(抜粋):
屈折率の異なる透明性材料を用いて形成される光導波路アレイの製造方法において、光導波路部となるコア部が充填されるための空洞部を形成するクラッド部は、鏡面加工されたブロックの積層体から成るスタンパに、前記コア部よりも屈折率の低い透明性材料を流し込んで形成されることを特徴とする光導波路アレイの製造方法。
IPC (2件):
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