特許
J-GLOBAL ID：200903012513636478
磁気抵抗効果素子とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穂上 照忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060459
公開番号（公開出願番号）：特開平7-272224
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】多層膜を使用した磁気抵抗効果素子で、安定的に高いMR比を有しており、かつMR比の減少に関する耐熱性も優れている磁気抵抗効果素子とその製造方法の提供。【構成】(1) 強磁性金属層3と非磁性金属層1との間に、両層の成分を含む混合層2が形成してある磁気抵抗効果素子。(2) 強磁性金属層3および非磁性金属層1を成膜する毎に、それらの成膜初期において、基板に積層している金属層に高エネルギービームを照射して、強磁性金属層3と非磁性金属層1との間に両層の成分を含む混合層2を形成する磁気抵抗効果素子の製造方法。
請求項（抜粋）：
強磁性金属層と非磁性金属層とを交互に積層した多層膜を備える磁気抵抗効果素子において、強磁性金属層と非磁性金属層との間に両層の成分を含む混合層が存在していることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
IPC (4件)：
G11B 5/39
, G01R 33/09
, H01L 43/08
, H01L 43/12
