特許

J-GLOBAL ID：200903012521062600

カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法およびこれを用いた固体撮像素子

発明者： 安海 貞二
出願人/特許権者： 富士フイルムホールディングス株式会社
代理人 (4件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-175115
公開番号（公開出願番号）：特開2006-351775
出願日： 2005年06月15日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】高精度のパターン形成を可能にし、混色を防ぐとともに薄型化を実現することのできるカラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】フィルタ分離層50Fを形成しておき、各色の形成領域に開口を形成しながら、対応する色のカラーフィルタ材料を形成し、平坦化するようにしているため、高精度に色区画を規定されたカラーフィルタを形成することが可能となる。また、フィルタ分離層によって隣接する色のカラーフィルタが分離されているため、薄型化に際しても混色のおそれもなく高精度のパターン形成が可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基体表面に、第1の色のカラーフィルタを構成する第1のカラーフィルタと、前記第1の色とは異なる第2の色のカラーフィルタを構成する第2のカラーフィルタとを配列してなるカラーフィルタの製造方法であって、 前記基体表面に、各色のカラーフィルタを分離するためのフィルタ分離層を形成する工程と、 前記フィルタ分離層に第1のカラーフィルタを形成するための第1の開口を形成する工程と、 前記第1の開口の形成された基体表面に第1の色のカラーフィルタ材料を塗布する工程と、 CMPにより平坦化し、前記第1の開口に第1の色のカラーフィルタ材料が充填された第1のカラーフィルタを形成する工程と、 前記第1のカラーフィルタの形成された、前記フィルタ分離層に第2のカラーフィルタを形成するための第2の開口を形成する工程と、 前記第2の開口の形成された基体表面に第2の色のカラーフィルタ材料を塗布する工程と、 平坦化によって、前記フィルタ分離層上の第2の色のカラーフィルタ材料を除去し、前記第2の開口に第2の色のカラーフィルタ材料が充填された第2のカラーフィルタを形成する工程とを含み、 前記第1のカラーフィルタと第2のカラーフィルタとを前記基体上に配列するカラーフィルタの製造方法。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  G02B 5/20

FI (2件)：

H01L27/14 D ,  G02B5/20 101

Fターム (24件)：

2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB08 ,  2H048BB10 ,  2H048BB24 ,  2H048BB28 ,  2H048BB42 ,  4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA20 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA34 ,  4M118GB08 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GC17