特許

J-GLOBAL ID：200903012528726228

微小機械振動フィルタ

発明者： 中村 邦彦 ,  中西 淑人
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 蔵合 正博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-317151
公開番号（公開出願番号）：特開2003-309449
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、高周波帯域に対応した小型高性能の機械振動式フィルタを供することを目的とする。【解決手段】 機械振動子を微小化した微小円柱梁5とすることで機械共振周波数を高周波化し、かつ微小円柱梁5を複数個アレイ状に並べ、各微小円柱梁5の周囲に所定の間隙をもって共通の検出電極6を配置することにより、出力信号の低下を抑える。また、一部の機械振動子の振動を拘束することで、入力信号から出力信号への直接的な電磁結合に伴うノイズ成分の観測と除去を可能とする。

請求項（抜粋）：

電磁波導波路上またはその近傍の電磁界中にアレイ状に配置された梁状またはコイル状の複数の微小機械振動子と、前記複数の微小機械振動子が電磁界との相互作用を受けて固有の共振周波数で振動する際の信号を検出する検出回路とを備えた微小機械振動フィルタ。

IPC (3件)：

H03H 9/46 ,  B81B 3/00 ,  H03H 9/24

FI (3件)：

H03H 9/46 Z ,  B81B 3/00 ,  H03H 9/24 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭47-003459
  
• 機械振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-092902   出願人：日本電気株式会社