露光制御を使用して表面を検査する方法およびシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井ノ口壽
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-580842
公開番号（公開出願番号）：特表2005-521876
出願日： 2003年03月26日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

ウェハのような表面を検査するために露光制御を使用する方法およびシステムを提供する。一検査システムは、検出器として電荷結合素子(CCD)を備える。各CCDの露光制御機能は、多重散乱領域を含んでいてもよい表面から散乱した光が検査中にCCDのダイナミックレンジ内にあるように、CCDの個々のタップに対する積分時間を調節するために使用される。

請求項（抜粋）：

光を異なって散乱させる少なくとも二つの領域を備えるウェハを検査するように構成されるシステムにおいて、前記システムは、前記ウェハから散乱した光を集めるように構成される集光器を備え、前記集光器は電荷結合素子(CCD)を備え、前記CCDは、複数のタップを備え、各タップは一連の画素を備え、前記CCDは、前記ウェハから散乱した光を集めるように設けられる前記タップの一連の画素の位置に依存して各タップの積分時間を独立して調節するように構成されるシステム。

IPC (2件)：

G01N21/956 , H01L21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A , H01L21/66 J

Fターム (30件)：

2G051AA51 , 2G051AB07 , 2G051AB11 , 2G051BA10 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051EA09 , 2G059AA05 , 2G059BB16 , 2G059EE02 , 2G059EE11 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ19 , 2G059KK04 , 2G059LL04 , 2G059MM01 , 2G059NN01 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA39 , 4M106DB02 , 4M106DB08 , 4M106DB11

引用特許：

出願人引用 (1件)

国際特許出願PCT/US98/16116

引用文献：

審査官引用 (1件)

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