特許

J-GLOBAL ID：200903012532070329

共通の中間層金属コンタクトを有する2色赤外線同時検出器

発明者： ジョージ・アール・チャップマン ,  ボニー・エー・バウムグラッツ ,  マイケル・レイ
出願人/特許権者： サンタ・バーバラ・リサーチ・センター
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-144632
公開番号（公開出願番号）：特開平9-107121
出願日： 1996年06月06日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】 複数のスペクトル帯域または複数色の放射線に感度の高い放射線検出器において、その構造上の複雑さと最小寸法を低減することを目的とする。【解決手段】 第1のスペクトル帯域内の放射線を吸収するバンドギャップを有しII-VI 族半導体材料を含む第1の導電形の第1の層14と、第1の層の上に配置されたII-VI 族半導体材料を含む第2の電導形の第2の層16と、第2の層の上に配置され第2のスペクトル帯域内の放射線を吸収するバンドギャップを有しII-VI 族半導体材料を含む第1の導電形の第3の層18とを有し、該第1、第2、および第3の層は、第1、第3の層への電気コンタクト22、26をその頂部表面で支持する少なくとも1つのメサ構造10a,10b内に包含されており、メサ構造の側壁の電気コンタクト30により第2の層に接続された共通の電導性バスを有する複数の放射線検出器を具備するアレイ。

請求項（抜粋）：

複数の放射線検出器を具備するアレイであって、前記放射線検出器のそれぞれは、II-VI 族半導体材料を含む第1の層と、ここで、前記第1の層は第1の形の電気電導性を有し、そして第1のスペクトル帯域内の放射線を吸収するように選択されたバンドギャップを有し、前記第1の層の上部に配置された第2の層と、ここで、前記第2の層はII-VI族半導体材料を含み、また前記第2の層は第1の形の電気電導性と反対の第2の形の電気電導性を有し、前記第2の層の上部に配置された第3の層と、ここで、前記第3の層はII-VI族半導体材料を含み、また前記第3の層は第1の形の電気電導性を有し、そして第2のスペクトル帯域内の放射線を吸収するように選択されたバンドギャップを有し、ここで、前記第1、第2、および第3の層は、前記第1の層への第1の電気コンタクトおよび前記第3の層への第2の電気コンタクトをその頂部表面で保持する少なくとも1つのメサ構造内に包含され、前記少なくとも1つのメサ構造はさらにその側壁において前記第2の層への電気コンタクトを保持し、前記側壁の電気コンタクトは前記複数の放射線検出器のメサ構造の側壁の電気コンタクトに導電的に接続された電気電導性バスに接続されていることを特徴とするアレイ。