特許
J-GLOBAL ID：200903012532465676

積層ウエハーのアライメント方法

発明者：
山内 朗

山内 朗 について


出願人/特許権者：
東レエンジニアリング株式会社

東レエンジニアリング株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-309670
公開番号（公開出願番号）：特開2002-118052
出願日： 2000年10月10日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：
【要約】【課題】 ウエハーの多層積層を可能とし、かつ、それを高精度のアライメントでもって容易に行うことができる、積層ウエハーのアライメント方法を提供する。【解決手段】 各ウエハーに位置合わせのための認識マークを付し、隣接ウエハー同士を位置合わせしながら3枚以上のウエハーを順次積層するに際し、認識マークの位置を、ウエハーの周方向に順次ずらしながら各ウエハーを積層していくことを特徴とする積層ウエハーのアライメント方法。
請求項（抜粋）：
各ウエハーに位置合わせのための認識マークを付し、隣接ウエハー同士を位置合わせしながら3枚以上のウエハーを順次積層するに際し、認識マークの位置を、ウエハーの周方向に順次ずらしながら各ウエハーを積層していくことを特徴とする積層ウエハーのアライメント方法。
IPC (6件)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68 ,  H01L 25/065 ,  H01L 25/07 ,  H01L 25/18
FI (4件)：
G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 502 M ,  H01L 25/08 Z
Fターム (8件)：
5F031CA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031MA27 ,  5F046EB01 ,  5F046EB08 ,  5F046FA14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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