特許

J-GLOBAL ID：200903012536843217

樹脂封止方法

発明者： 加守田 裕樹
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044671
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233537
出願日： 1998年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 樹脂封止形状の形状安定性の確保及び樹脂封止製品の量産性の向上を図るのに好適な樹脂封止方法を提供すること。【解決手段】 封止対象部位を光硬化樹脂で樹脂封止する方法において、光硬化樹脂を硬化させる光波長の光が透過する薄板材を基材にして、前記封止対象部位に対応する開口部を形成し、かつ、前記光波長の光を反射させるための反射膜を少なくとも薄板材上面に形成してなる透明マスクを用いて、前記封止対象部位が前記開口部により露出されるようにマスキングする工程と、前記開口部により露出された封止対象部位へと光硬化樹脂を充填する工程と、前記透明マスクに伝搬させた前記光波長の光にて、前記封止対象部位に充填された光硬化樹脂を硬化させる工程と、を具備することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

封止対象部位を光硬化樹脂で樹脂封止する方法において、光硬化樹脂を硬化させる光波長の光が透過する薄板材を基材にして、前記封止対象部位に対応する開口部を形成し、かつ、前記光波長の光を反射させるための反射膜を少なくとも薄板材上面に形成してなる透明マスクを用いて、前記封止対象部位が前記開口部により露出されるようにマスキングする工程と、前記開口部により露出された封止対象部位へと光硬化樹脂を充填する工程と、前記透明マスクに伝搬させた前記光波長の光にて、前記封止対象部位に充填された光硬化樹脂を硬化させる工程と、を具備することを特徴とする樹脂封止方法。

IPC (7件)：

H01L 21/56 ,  B29C 39/10 ,  H01L 23/28 ,  H01L 27/14 ,  H01L 33/00 ,  B29K105:24 ,  B29L 31:34

FI (5件)：

H01L 21/56 J ,  B29C 39/10 ,  H01L 23/28 D ,  H01L 33/00 N ,  H01L 27/14 D