特許

J-GLOBAL ID：200903012539010127

画像検査方法および画像検査装置

発明者： アナ テッサデロ
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (3件)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-210588
公開番号（公開出願番号）：特開2006-048675
出願日： 2005年07月20日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】 閉塞特徴によって閉塞された被閉塞特徴を高精度に検査するための画像検査方法を提供すること。【解決手段】 閉塞特徴としてのグリッド304と、被閉塞特徴としてのトレース320,330とを含む原画像に形態学的フィルタを適用して、グリッド304が除去されたフィルタ画像を適用する。フィルタ画像についてラインツール610を用いたエッジ検出を行い、エッジのおおよその位置を検出する。続いて、原画像に戻り、ラインツール610を用いたエッジ位置検出を行う。この際、ラインツール610は、フィルタ画像におけるエッジ検出に利用されたときよりも短くされており、エッジ検出対象範囲が、フィルタ画像について検出されたおおよそのエッジ位置の近傍に絞られている。これにより、ラインツール610は、グリッド304の影響を受けることなく、高精度にエッジ検出を行うことができる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

画像検査システムにより取得されるワークの画像検査方法であって、 前記画像検査システムによって前記ワークの原画像を取得する工程と、 前記原画像に対してフィルタリング操作を行ってフィルタ画像を生成する工程と、 前記フィルタ画像において前記ワークのエッジ点を検出する工程と、 前記フィルタ画像において検出されたエッジ点の位置を利用して、前記原画像において前記ワークのエッジ点を検出する工程と、 を備えることを特徴とする画像検査方法。

IPC (3件)：

G06T 1/00 ,  G01B 11/00 ,  G06T 5/20

FI (3件)：

G06T1/00 305A ,  G01B11/00 H ,  G06T5/20 A

Fターム (27件)：

2F065AA12 ,  2F065AA26 ,  2F065FF04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ37 ,  2F065QQ41 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE06 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC36

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Boundary extraction in the SEM cross section of LSI