特許
J-GLOBAL ID：200903012540490183

水晶基板検査装置

発明者：
小林 了

小林 了 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マクシス

株式会社日本マクシス について


代理人 (1件)： 油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220629
公開番号（公開出願番号）：特開2001-039530
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：
【要約】【課題】 パーツフィーダを使って整列搬送する時に水晶基板に生じる静電気を有効に除去する。【解決手段】 水晶ブランク1の画像検査を行う量産型の水晶基板検査装置は、水晶ブランク1を振動させながら整列排出するパーツフィーダ20を有する。このパーツフィーダ20の水晶基板1を収容するわん状容器21をアルミニウムに代えてステンレスで形成する。このステンレスで形成したわん状容器21の内面に、水晶基板1によって傷が付いたり、削り取られないような硬質の窒化膜25を形成する。わん状容器21は接地する。窒化膜25は導電性なので、この接地により、わん状容器表面も接地される。
請求項（抜粋）：
水晶基板を振動させながら整列排出するパーツフィーダを有し、該パーツフィーダから排出される水晶基板をバキュームチャックで吸着して画像取込みステージに移載して水晶基板の画像検査を行う水晶基板検査装置において、前記パーツフィーダの水晶基板を収容するわん状容器をステンレスで形成し、前記ステンレスで形成したわん状容器の内面に窒化膜を形成したことを特徴とする水晶基板検査装置。
Fターム (9件)：
3F080AA18 ,  3F080BF19 ,  3F080BF30 ,  3F080CB02 ,  3F080CB08 ,  3F080CB13 ,  3F080CG04 ,  3F080DA17 ,  3F080DB09
引用特許：
審査官引用 (4件)
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