特許
J-GLOBAL ID：200903012540944389
フラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法及びそのための装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-320297
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178797
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 モアレの影響を抑制して、容易に欠陥が判定できるようなフラットパネルディスプレイの表示欠陥を抽出する。【構成】 ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイの表示状態を固体撮像素子による画像データを用いて、その表示状態を検査するフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法において、前記CCD22上で結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、この撮像ポジションに対し、前記結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパターンのX及びY方向のピッチの1/2だけCCD22を移動させた撮像ポジションで、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、上記各撮像による画像データを合成し、画像データに含まれるモアレ成分を抑制して表示欠陥を抽出する。
請求項（抜粋）：
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイの表示状態を固体撮像素子による画像データを用いて、その表示状態を検査するフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法において、(a)前記固体撮像素子上で結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、(b)該撮像ポジションに対し、前記結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパターンのピッチの1/2だけ固体撮像素子を移動させた撮像ポジションで、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、(c)上記各撮像による画像データを合成し、画像データに含まれるモアレ成分を抑制して表示欠陥を抽出することを特徴とするフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G01J 9/00
, G01N 21/88
, H01L 21/66
