真空吸着装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-071840
公開番号（公開出願番号）：特開2005-254412
出願日： 2004年03月15日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】真空吸着装置の載置部と支持部との接合部の段差および隙間を無くし、ウエハの平坦加工精度を大幅に向上させることを目的とする。【解決手段】開気孔を備えた多孔質組織を有し、その表面で被処理物を吸着保持する載置部と、前記載置部を支持し、前記載置部が有する開気孔と連通する吸気孔を備えた支持部とを、具備する真空吸着装置であって、前記載置部と前記支持部とは、実質的に隙間なく直接に接合されており、かつ、前記載置部上縁には支持部側に鍔状に張り出した薄肉部が形成されていることを特徴とする真空吸着装置。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

開気孔を備えた多孔質組織を有し、その表面で被処理物を吸着保持する載置部と、前記載置部を支持し、前記載置部が有する開気孔と連通する吸気孔を備えた支持部とを、具備する真空吸着装置であって、前記載置部と前記支持部とは、実質的に隙間なく直接に接合されており、かつ、前記載置部上縁には支持部側に鍔状に張り出した薄肉部が形成されていることを特徴とする真空吸着装置。

IPC (3件)：

B25J15/06 , B65G49/07 , H01L21/68

FI (4件)：

B25J15/06 G , B65G49/07 G , H01L21/68 B , H01L21/68 P

Fターム (10件)：

3C007FS01 , 3C007FT10 , 3C007NS12 , 3C007NS13 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031GA24 , 5F031GA26 , 5F031HA02 , 5F031HA14

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭53-090871号公報
特開昭61-182738号公報

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