特許

J-GLOBAL ID：200903012542460117

エッチング精度の測定方法

発明者： 瀧沢 綱一 ,  石川 浩二
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-368860
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183280
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】作業性や測定精度の優れたエッチング精度の測定方法を提供すること。【解決手段】同じ種類で同じ厚さの2枚の金属箔を重ねて板に貼り合わせ、化学エッチング液をスプレー噴霧し、上側の金属箔が全てエッチング除去されないうちにその板を取り出し、その2枚の金属箔を重ねたまま同じ面積になるように切断し、その重量を比較することによりエッチング量を調査するエッチング精度の測定方法。

請求項（抜粋）：

同じ種類で同じ厚さの2枚の金属箔を重ねて板に貼り合わせ、化学エッチング液をスプレー噴霧し、上側の金属箔が全てエッチング除去されないうちにその板を取り出し、その2枚の金属箔を重ねたまま同じ面積になるように切断し、その重量を比較することによりエッチング量を調査するエッチング精度の測定方法。

IPC (2件)：

G01N 5/00 ,  H05K 3/06

FI (2件)：

G01N 5/00 Z ,  H05K 3/06 D

Fターム (3件)：

5E339BC01 ,  5E339BE13 ,  5E339EE03