特許
J-GLOBAL ID：200903012544688166
表面被覆窒化珪素質耐熱部材
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-324171
公開番号（公開出願番号）：特開平7-172958
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：
【要約】【構成】窒化珪素焼結体組成が図1の3元図における窒化珪素とSi2 N2 OとRE2 Si2 O7 で囲まれた領域にあり、粒界相が少なくともRE2 Si2 O7に結晶化していること窒化ケイ素焼結体の表面にRE2 Si2 O7 (REは周期律表第3a族元素)または、RE2 SiO5 、またはRE2 Si2 O7 を被覆した後、RE2 SiO5 を被覆する。【効果】室温と高温の間の繰り返し熱疲労特性に優れた表面被覆層を有する窒化珪素質耐熱部材を提供できる。
請求項（抜粋）：
窒化珪素質焼結体からなる基体の表面にRE2 Si2 O7 、RE2 SiO5 (REはいずれも周期律表第3a族元素)の少なくとも1種を被覆したことを特徴とする表面被覆窒化珪素質耐熱部材。
引用特許：
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