特許
J-GLOBAL ID：200903012548776809
電源装置及びこれを用いた半導体製造装置及び半導体ウェハの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-031721
公開番号（公開出願番号）：特開2003-234329
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：
【要約】【課題】半導体製造装置用の高周波電源装置や直流電源装置の閉ループ制御系を構成する部品にオフセットが発生した場合に異常を検出することができる電源装置及びこの電源装置を用いた半導体製造装置及び半導体ウェハの製造方法を提供する。【解決手段】出力の強度を設定する出力値設定信号と前記出力の出力オンオフを設定する出力オンオフ指令とを受けて前記出力を行う電源装置であって、前記出力オンオフ指令がオフの時に、前記出力の強度を検出した値に応じた出力検出信号が所定のしきい値を超えた場合は、次に前記出力オンオフ指令がオンに設定されても前記出力を行わないこととした電源装置からなる。
請求項（抜粋）：
出力の強度を設定する出力値設定信号と前記出力の出力オンオフを設定する出力オンオフ指令とを受けて前記出力を行う電源装置であって、前記出力オンオフ指令がオフの時に、前記出力の強度を検出した値に応じた出力検出信号が所定のしきい値を超えた場合は、次に前記出力オンオフ指令がオンに設定されても前記出力を行わないことを特徴とする電源装置。
Fターム (3件)：
5F004BA14
, 5F004BB11
, 5F004CA03
