特許
J-GLOBAL ID：200903012562850493
水平移動テーブル
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-255649
公開番号（公開出願番号）：特開平8-118171
出願日： 1994年10月20日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：
【要約】【目的】水平移動テーブルをサイズ的に比較的偏平なスペースにも設置できる水平移動テーブルを実現することにある。【構成】複数個の回転自在な小鋼球面若しくは潤滑樹脂面による水平滑走部14を備えた定盤11と、水平滑走部14上に載置されてX-Y方向及びθ方向に移動自在な水平テーブル板12と、該テーブル板12のX方向とY方向のうちいずれか一方向の一側端部の少なくとも2個所及び他方向の一側端部の少なくとも1個所に当接するようにそれぞれ設けられた水平方向に動作するアクチュエータ部15と、該アクチュエータ部15にテーブル板12の前記一側端部を常に当接させるため前記一側端部と対向する他側端部に当接する弾力押圧部16を設けた。
請求項（抜粋）：
複数個の回転自在な小鋼球面若しくは滑性樹脂面による水平滑走部14を備えた定盤11と、水平滑走部14上に載置されてX-Y方向及びθ方向に移動自在な水平テーブル板12と、該水平テーブル板12のX方向とY方向のうちいずれか一方向の一側端部の少なくとも2個所及び他方向の一側端部の少なくとも1個所に当接するようにそれぞれ設けられた水平方向に動作するアクチュエータ部15と、該アクチュエータ部15に水平テーブル板12の前記一側端部を常に当接させるため前記一側端部と対向する他側端部に当接して水平方向に弾力的に押圧する弾力押圧部16を設けたことを特徴とする水平移動テーブル。
IPC (2件)：
引用特許：
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