特許

J-GLOBAL ID：200903012566413454

磁性流体シール装置

発明者： 浅川 輝雄 ,  佐伯 弘明
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249015
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103339
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：

【要約】【目的】 穴加工や配管並びに特殊フィルタを設ける必要が無く、非常に構成が簡単で組立施工が楽でコストの低減が図れる上に、磁性流体シール部の破壊による磁性流体の飛沫粒子のチャンバーへの侵入を防止することができる磁性流体シール装置を提供することにある。【構成】 真空雰囲気のチャンバー1内への大気側からの動力伝達用シャフト2の挿通用ハウジング6内に複数個ずつの永久磁石7と磁極片8を交互に配列し、その各磁極片8とシャフト2周面との間に磁束により磁性流体9を保持して多段の磁性流体シール部10を形成すると共に、ハウジング6内の多段の磁性流体シール部10よりもチャンバー側寄り位置に、永久磁石13を挟んだ一対の磁極片14を設け、その磁極片14とシャフト周面との間に磁性流体を充填していない空のドライ磁気ギャップ部12を形成してなる。

請求項（抜粋）：

真空雰囲気のチャンバー内への大気側からの動力伝達用シャフトの挿通部内に多段の磁性流体シール部を形成して該挿通部内のシャフト回りをシールする磁性流体シール装置において、前記挿通部内の多段の磁性流体シール部よりもチャンバー側寄り位置に、磁性流体を充填していない空のドライ磁気ギャップ部を設けて構成したことを特徴とする磁性流体シール装置。