特許
J-GLOBAL ID：200903012578439068

回折格子パターン

発明者：
高橋 進

高橋 進 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-237432
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122721
出願日： 1988年09月07日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：
【要約】【課題】 回折格子からなる微小なドットが、回折格子の空間周波数、回折格子の方向、各ドットが配置されるピッチ、各ドットの並び方の少なくとも何れかが変化して、基板表面に複数配置されてなる回折格子パターンにおいて、回折格子の方向に応じたドットの組み合わせによる表示を切り換えることを実現する。【解決手段】ドット内の回折格子は、それぞれ電子ビーム露光装置により描画形成され、 2以上の回折格子の方向を持ち、前記方向に応じて、観察位置・方向の違いによっては、方向の等しい回折格子を有するドットの組み合わせが視覚されるようにする。
請求項（抜粋）：
回折格子からなる微小なドットが、回折格子の空間周波数、回折格子の方向、各ドットが配置されるピッチ、各ドットの並び方の少なくとも何れかが変化して、基板表面に複数配置されて表現される回折格子パターンにおいて、上記回折格子が電子ビーム露光装置により描画されたものであることを特徴とする回折格子パターン。
IPC (4件)：
G02B 5/18 ,  G02B 27/09 ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G02B 5/18 ,  G03F 7/20 504 ,  G02B 27/00 E ,  H01L 21/30 541 J
Fターム (13件)：
2H049AA33 ,  2H049AA60 ,  2H049AA66 ,  2H049AA68 ,  2H049AA69 ,  2H097AA03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA17 ,  5F056AA02 ,  5F056CA05 ,  5F056CA09 ,  5F056CA11 ,  5F056CA23
引用特許：
審査官引用 (18件)
  • 特公昭27-000642
  • 特開昭56-104604
  • 特開昭62-232616
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