レンズの評価方法、レンズの評価装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287868
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108575
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】レンズ金型を製作する過程で該金型に生じた凹凸を転写されたレンズの球面収差やデフォーカスを正しく検出することができるレンズの評価方法および装置を提供する。【解決手段】レンズの評価方法は、(a)レンズから出射された光を回折し、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る工程と、(b)上記回折光の位相を変化させる工程と、(c)上記シェアリング干渉像において、上記2つの回折光の光軸O、O1を結ぶ中点を通らず、上記2つの光軸を結ぶ直線と垂直な線分(Z軸)上の、複数の測点(P1、P2、...Pn-1,Pn)で、光強度変化の位相φ(φP1、φP2、...、φPn-1、φPn)を求める工程と、(d)上記測点位置をY、上記位相をφとしたとき、上記位相φを測定位置Yの2次関数または3次関数で近似し、該関数の2次の係数値で上記レンズの球面収差を評価する工程とを有する。

請求項（抜粋）：

(a)レンズから出射された光を回折し、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る工程と、(b)上記回折光の位相を変化させる工程と、(c)上記シェアリング干渉像において、上記2つの回折光の光軸を結ぶ中点を通らず、上記2つの光軸を結ぶ直線と垂直な線分上の、複数の測点で、光強度変化の位相を求める工程と、(d)上記測点位置をY、上記位相をφとしたとき、上記位相φを測定位置Yの2次関数または3次関数で近似し、該関数の2次の係数値で上記レンズの球面収差を評価する工程とを有することを特徴とするレンズ評価方法。

Fターム (1件)：

2G086HH06

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭61-286710
収差測定機
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-353755 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-298106

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