クランプ装置及びそれを備えたチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：後藤洋介 , 池田憲保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-086932
公開番号（公開出願番号）：特開2004-291156
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】鉛直方向の並進及びチルト動作を可能とすると共に水平方向あるいは下方向の加速度が働いても位置のずれを無くすことを可能にするクランプ装置を提供する。【解決手段】支持部材(107〜109)上に置かれるボール(13〜15)と、該ボールの受け部(16-1〜18-1)を下部に有し該受け部を前記ボールの上部に当接させたクランプ軸(16〜18)との組合わせを3組備える。前記クランプ軸は前記受け部とそこから上方に延びる軸部(16-2〜18-2)とから成る。前記支持部材側には前記軸部を揺動可能に上方に突出させた状態で前記ボールと前記クランプ軸との組合わせを保持するためのホルダ(104〜106)を固定し、前記受け部と前記ホルダとの間には該受け部を下方に付勢するための皿ばね(101〜103)を介在させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持部材上に置かれるボールと、該ボールの受け部を下部に有し該受け部を前記ボールの上部に当接させたクランプ軸との組合わせを複数組備え、前記クランプ軸は前記受け部とそこから上方に延びる軸部とから成り、前記支持部材側には前記軸部を揺動可能に上方に突出させた状態で前記ボールと前記クランプ軸との組合わせを保持するためのホルダを固定し、前記受け部と前記ホルダとの間には該受け部を下方に付勢するためのばね部材を介在させたことを特徴とするクランプ装置。

IPC (4件)：

B23Q1/28 , B23Q1/25 , B23Q5/34 , F16C11/08

FI (4件)：

B23Q1/28 , B23Q5/34 520Z , F16C11/08 E , B23Q1/04

Fターム (14件)：

3C048BB11 , 3C048BB20 , 3C048BC01 , 3C048CC17 , 3C048DD00 , 3C048DD09 , 3C048EE07 , 3J105AA37 , 3J105AA41 , 3J105CA22 , 3J105CB17 , 3J105CB46 , 3J105CB66 , 3J105CF02

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-202031
支持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-250769 出願人：株式会社ニコン
支持方法及び支持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-017786 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (3件)

特開平2-202031
支持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-250769 出願人：株式会社ニコン
支持方法及び支持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-017786 出願人：株式会社ニコン

前のページに戻る