特許

J-GLOBAL ID：200903012587511308

耐摩耗性導電薄膜および耐摩耗性部材

発明者： 中釜 詳治 ,  岡本 暁 ,  田中 素之 ,  中山 明 ,  吉岡 剛
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-076662
公開番号（公開出願番号）：特開平6-287741
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【目的】 セラミックスおよびガラス等の金属以外の材料からなる基材上に密着性よく設けられ、かつ耐摩耗性に優れたCr-N系導電薄膜を提供することである。【構成】 本発明に係る耐摩耗性導電薄膜は、セラミックスおよびガラスの少なくともいずれかからなる基材の表面をコーティングして耐摩耗性を付与するための導電薄膜であって、X線回折において(200)のピーク強度に対する(111)のピーク強度の比 I(111)/I(200)が0.5以上4.0以下となる結晶配向性を示すCrNからなる層から構成される。

請求項（抜粋）：

セラミックスおよびガラスの少なくともいずれかからなる基材の表面をコーティングして耐摩耗性を付与するための導電薄膜であって、X線回折において(200)のピーク強度に対する(111)のピーク強度の比 I(111)/I(200)が0.5以上4.0以下となる結晶配向性を示すCrNからなる層を備える、耐摩耗性導電薄膜。

IPC (2件)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 書込可能型光デイスク装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-321002   出願人：ソニー株式会社
• 光記録デイスクの記録再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-299905   出願人：テイーデイーケイ株式会社