位置決め方法および装置ならびにそれを用いた投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-316019
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153670
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】平面内で直交座標軸X,Yに沿った移動と平面に垂直な軸周りの回転が可能な移動ステージ高精度の位置決め方法とこれを用いた投影露光装置を提供する。【構成】 X測長器2、Y測長器3及び3からX方向にLr離れたθ測長器4(回転角θを測るための第2のY測長器)を備えたステージ装置上に、第1と第2の基準マーク5,6を備えた移動ステージ1がある。移動ステージ1の一辺がX軸に平行なときθ=0とすると、マーク検出手段7により二つの基準マークを検出したときのX測長器、Y測長器、及びθ測長器の各測長値から簡単な計算で、θ=0の基準状態における二つの基準マークのX及びY方向の間隔、及びY測長器とθ測長器のX方向の間隔Lrを正確に求めることができる。これらのパラメータを使って移動ステージの位置決めを正確に行えるので、投影露光装置のマスクやウエハの移動ステージに利用できる。

請求項（抜粋）：

同一の平面内でX,Y,θ方向に駆動可能で、かつ所定の位置関係で配置された第1および第2のマークを有する移動ステージと、該移動ステージのX方向の移動量を計測可能なX測長手段と、前記移動ステージのY方向の移動量をそれぞれ計測可能で、かつ互いに平行な計測軸を有する第1および第2のY測長手段と、前記移動ステージ上の前記第1のマークと前記第2のマークを検出可能で、前記移動ステージとは独立して配置された検出手段とを備えたステージ装置において前記移動ステージをX,Y,θ方向に高精度に位置決めする方法であって、前記移動ステージのθ方向に任意の移動量を与え、その移動量を保持したまま前記移動ステージを移動して前記第1のマークと前記第2のマークをそれぞれ前記検出手段の検出中心で検出するステップと、前記第1および第2のマークの位置関係とそれらの各マークを検出した時の前記X測長手段、前記第1のY測長手段および第2のY測長手段の少なくとも1つの計測値より前記移動ステージのθ方向の実際の移動量を算出するステップと、この算出された移動量と前記第1および第2のY測長手段のそれぞれの計測値より前記第1および第2のY測長手段の計測軸の間隔を算出し記憶するステップとを具備し、該算出した軸間隔を記憶した後はその軸間隔と前記第1および第2のY測長手段による計測値とに基づいて前記移動ステージのθ方向の移動量を高精度に算出することを特徴とする位置決め方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 , G05D 3/12 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 515 G , H01L 21/30 516 B

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