特許

J-GLOBAL ID：200903012596073658

固体撮像素子

発明者： 前田 敦
出願人/特許権者： 株式会社ルネサステクノロジ
代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-160766
公開番号（公開出願番号）：特開2004-363375
出願日： 2003年06月05日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【課題】遮光の効果は損なうことなく、製造過程において生じる水素基を有効に活用して、リーク電流の発生源となる基板表面の準位を終端化させた固体撮像素子を得る。【解決手段】フォトダイオードPDを構成するN型ソース領域104およびP型不純物領域105の上部に対応する層間絶縁膜1の主面上には、遮光体21が網目状に配設されて網目状構造を有する遮光膜2が配設されている。遮光膜2の平面視形状は、矩形の遮光体21が1つ置きにマトリックス状に配設されて網目状構造をなしている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

入射光を電気信号に変換し、生成された電荷を蓄積する光電変換蓄積部と、 前記光電変換蓄積部の上方に配設された少なくとも1層の遮光膜とを備え、 前記少なくとも1層の遮光膜の平面構造は、 遮光体とスペース部分とが規則的に配設された構造を有する固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L27/14 ,  H01L27/146 ,  H01L31/00 ,  H04N5/335

FI (5件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 E ,  H04N5/335 U ,  H01L27/14 A ,  H01L31/00 B

Fターム (28件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA04 ,  4M118CA32 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  4M118FA42 ,  4M118GB03 ,  4M118GB15 ,  4M118GB17 ,  4M118GB19 ,  5C024CX03 ,  5C024GY31 ,  5C024GY41 ,  5C024GZ36 ,  5F088AA02 ,  5F088BA04 ,  5F088BB03 ,  5F088CB03 ,  5F088CB11 ,  5F088CB20 ,  5F088DA01 ,  5F088HA10