重心移動を補償するフォースアクチュエータ装置を有する位置決め装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-536329
公開番号（公開出願番号）：特表平10-503889
出願日： 1996年05月17日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】物体テーブル(1,5)を設けた駆動ユニット(147,149,151;69,71)を有する位置決め装置(21,31)を、位置決め装置(21,31)のフレーム(45)に固定した案内(141,65)上で移動自在にする。位置決め装置(21,31)は前記フレームに対して補償力を発生し、補償力のフレーム(45)の基準点(P)の周りのモーメントが、物体テーブル(1,5)に作用する重力の基準点(P)の周りのモーメントの値に等しい値と、重力のモーメントの方向とは逆向きの方向とを有するフォースアクチュエータ装置(205)を設ける。フォースアクチュエータ装置(205)を使用することにより、物体テーブル(1,5)の移動中に、重力のフレーム(45)に対する作用点がフレーム(45)に対して移動するとき、フレーム(45)が振動したり、弾性的に変形したりするのを防止する。これにより、物体テーブル(1,5)を案内(141,65)に対して駆動ユニット(147,149,151;69,71)によって位置決めすることができる精度がこのような振動又は変形によって悪影響を受けない。位置決め装置(21,31)は集積半導体回路の製造のためのリソグラフ装置に使用する。このリソグラフ装置は、サブストレートホルダ(1)を合焦装置(3)に対して移動自在にする第1位置決め装置(21)と、マスクホルダ(5)を合焦装置(3)に対して移動自在にする第2位置決め装置(31)とを有する。本発明によるリソグラフ装置の特別な実施例においては、第1位置決め装置(21)及び第2位置決め装置(31)のためのジョイントフォースアクチュエータ装置(205)を設け、このジョイントフォースアクチュエータ装置(205)はサブストレートホルダ(1)及びマスクホルダ(5)の双方の重心移動を補償することができる。フォースアクチュエータ装置は、3個の動力学的アイソレータ(51)にそれぞれ一体にした3個のフォースアクチュエータ(205)を有し、これら動力学的アイソレータ(51)を介してリソグラフ装置のマシンフレーム(45)をベース(39)に載置する。

請求項（抜粋）：

物体テーブルと、この物体テーブルを少なくともX軸方向に平行に位置決め装置のフレームに固定した案内上で移動自在にする駆動ユニットとを具える位置決め装置において、前記位置決め装置に、電気コントローラによって制御して動作中に前記フレームに対して補償力を発生し、前記補償力の前記フレームの基準点の周りの機械的モーメントが、前記物体に作用する重力の前記フレームの基準点の周りの機械的モーメントの値に等しい値と、前記重力の機械的モーメントの方向とは逆向きの方向とを有するフォースアクチュエータ装置を設けたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/30 520 A , G03F 9/00 H , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 F , H01L 21/30 515 G

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