感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-025691
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242603
出願日： 1993年02月15日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】優れた耐めっき性、可撓性、剥離性等を有し、現像スカムの発生しない感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供する。【構成】 (A)エトキシ鎖及びプロポキシ鎖の両鎖を有するエチレン性不飽和基を1分子中に3個以上含有する不飽和化合物、(B)有機ハロゲン化合物、(C)フィルム性付与ポリマー並びに(D)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤及び/又は光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物と前記組成物の層と支持体フィルムを有する感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(I)【化1】〔式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2はエチレン基又はプロピレン基を表し、R3はエチレン基又はプロピレン基を表し、R2とR3とは必ず異なる基であり、m及びnは繰り返し単位の個数を示しそれぞれ1以上の整数である〕で示される不飽和基を1分子中に3個以上有するエチレン性不飽和化合物、(B)有機ハロゲン化合物、(C)フィルム性付与ポリマー並びに(D)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤及び/又は光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , G03F 7/038 501 , G03F 7/11 501 , H01L 21/027 , H05K 3/00 , H05K 3/18

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-170547
特開昭49-123168
特開平4-088345

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