特許

J-GLOBAL ID：200903012619051010

感光性ポリイミド系樹脂組成物

発明者： 加藤 英人 ,  豊田 聡志
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-083365
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254831
出願日： 1995年03月15日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【構成】 (a) 下記一般式(1) :【化1】〔式中、Xは4価の有機基であり、Yは2価の有機基であり、R 及びR'は式:【化2】(ここで、R1 、R2 及びR3 は炭素原子数1〜8の1価の有機基又は水素原子である。)〕で表される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が20,000〜100,000であるポリイミド樹脂前駆体と、(b) 下記一般式(2) :【化3】〔式中、R4 は置換又は非置換の炭化水素基であり、R5 及びR6 は同一又は異なるアルキル基であり、R7 及びR8 は同一又は異なる-COOR'' ,-COR''もしくは-CN (ただし、R''はアルキル基である。)〕で表されるジヒドロピリジン化合物と、(c) 下記一般式(3) :【化4】〔式中、R9 、R10及びR11は同一又は異なり、置換又は非置換のアリール基である〕で表されるヘキサアリールビイミダゾール化合物を含有する感光性ポリイミド系樹脂組成物。【効果】 この組成物は、電子部品用保護膜として十分な耐熱性を有し、高純度で、ポジ型感光性材料であるのでアルカリ水溶液で現像可能であり、溶解速度の調整が可能で、膜減りが少なく、幅広い原料に適応でき、かつ、感度も良好である。

請求項（抜粋）：

(a) 下記一般式(1) :【化1】〔式中、Xは4価の有機基であり、Yは2価の有機基であり、R 及びR'は式:【化2】(ここで、R1 、R2 及びR3 は炭素原子数1〜8の1価の有機基又は水素原子である。)〕で表される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が20,000〜100,000であるポリイミド樹脂前駆体と、(b) 下記一般式(2) :【化3】〔式中、R4 は置換又は非置換の炭化水素基であり、R5 及びR6 は同一又は異なるアルキル基であり、R7 及びR8 は同一又は異なる-COOR'' ,-COR''もしくは-CN (ただし、R''はアルキル基である。)〕で表されるジヒドロピリジン化合物と、(c) 下記一般式(3) :【化4】〔式中、R9 、R10及びR11は同一又は異なり、置換又は非置換のアリール基である〕で表されるヘキサアリールビイミダゾール化合物を含有する感光性ポリイミド系樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/075 511 ,  C08K 5/3432 ,  C08K 5/3445 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 504

FI (6件)：

G03F 7/075 511 ,  C08K 5/3432 ,  C08K 5/3445 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 504