特許

J-GLOBAL ID：200903012622689549

顕微鏡装置及び分析装置

発明者： 石田 邦夫 ,  久保田 宏
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-259368
公開番号（公開出願番号）：特開2008-076361
出願日： 2006年09月25日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】複数のパルス光の照射位置を、分析対象物表面の凹凸に応じて一致させる顕微鏡装置を提供する。【解決手段】互いに異なる波長成分を含む複数のパルスレーザ光P12、P14 ́を発生する光源部21、23、41と、複数のパルスレーザ光P12、P14 ́を分析対象60に照射する光学系35と、複数のパルスレーザ光P12、P14 ́の照射によって分析対象60から発せられる第1の光P15を検出する第1の検出部62と、複数のパルスレーザ光P12、P14 ́の照射によって分析対象60から発せられる第2の光P16を検出する第2の検出部61と、第2の検出部61によって検出される第2の光P16の強度に基づいて複数のパルスレーザ光P12、P14 ́の照射位置を一致させるための調整部65、31とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに異なる波長成分を含む複数のパルスレーザ光を発生する光源部と、 前記複数のパルスレーザ光を分析対象に照射する光学系と、 前記複数のパルスレーザ光の照射によって前記分析対象から発せられる第1の光を検出する第1の検出部と、 前記複数のパルスレーザ光の照射によって前記分析対象から発せられる第2の光を検出する第2の検出部と、 前記第2の検出部によって検出される第2の光の強度に基づいて前記複数のパルスレーザ光の照射位置を一致させるための調整部と を備えることを特徴とする顕微鏡装置。

IPC (4件)：

G01N 21/64 ,  G01N 21/65 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/18

FI (4件)：

G01N21/64 E ,  G01N21/65 ,  G02B21/06 ,  G02B21/18

Fターム (30件)：

2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043BA16 ,  2G043EA01 ,  2G043EA04 ,  2G043EA14 ,  2G043FA02 ,  2G043GA01 ,  2G043GA02 ,  2G043GB01 ,  2G043GB19 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA09 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043LA02 ,  2G043NA05 ,  2H052AA07 ,  2H052AA09 ,  2H052AB24 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD18 ,  2H052AF14