特許

J-GLOBAL ID：200903012654668608

ドライエッチング装置

発明者： 辰巳 正樹
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-040804
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243189
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】 従来構造のドライエッチング装置は、平行平板方式のものであるため、平板電極の中央部と周辺部で電界分布が異なりエッチングバラツキがあった。本発明は、電極間の電界分布を均一にし、エッチングバラツキを低減することにある。【構造】 アノード電極2及びカソード電極3を略球面構造にすることにより、電極間の電界分布を均一にし、エッチングバラツキを低減することができる。

請求項（抜粋）：

ドライエッチング装置において、ウェーハをローディングする電極を略球面構造とし、その内側にウェーハをローディングすることを特徴とするドライエッチング装置。