ナノチューブの配線方法及びナノチューブ配線用制御回路

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-137263
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332266
出願日： 2002年05月13日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】ナノチューブを簡便かつ確実に目的の位置に配線する方法を提供する。【解決手段】電極13と電極14の間に、ナノチューブ17を分散したエタノール16を滴下する。電極13-電極14間に交流電源18を用いて高周波電圧を印加する。エタノール16中のナノチューブ17は電気泳動し、そのうちの1本が両電極間を渡す位置に来たとき、ファン・デル・ワールス力によって両電極にまたがって付着する。一旦付着すれば、ファン・デル・ワールス力により、ナノチューブは容易に電極から外れることはない。また、電極13-電極14間の電気抵抗値をモニターすることにより、ナノチューブ17が電極間に付着したことを検知し、高周波電圧の印加を自動的に停止する回路を用いてもよい。

請求項（抜粋）：

ナノチューブを分散させた溶媒を2個の電極間に滴下し、両電極間に交流電圧を印加することによって該電極間にナノチューブを配線することを特徴とするナノチューブの配線方法。

IPC (8件)：

H01L 21/288 , C01B 31/02 101 , C25D 13/00 309 , C25D 13/02 , C25D 13/18 , H01L 21/28 301 , H01L 21/3205 , H01L 29/786

FI (8件)：

H01L 21/288 Z , C01B 31/02 101 F , C25D 13/00 309 , C25D 13/02 Z , C25D 13/18 Z , H01L 21/28 301 Z , H01L 29/78 618 B , H01L 21/88 M

Fターム (28件)：

4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AD28 , 4G146AD30 , 4G146BA04 , 4G146CB05 , 4G146CB07 , 4M104BB01 , 4M104BB09 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD51 , 4M104EE03 , 4M104EE16 , 4M104GG09 , 5F033HH32 , 5F033HH36 , 5F033PP26 , 5F110AA01 , 5F110AA30 , 5F110CC03 , 5F110DD05 , 5F110EE08 , 5F110FF02 , 5F110GG01 , 5F110GG41 , 5F110HK02

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