弾性表面波素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-140322
公開番号（公開出願番号）：特開平6-350377
出願日： 1993年06月11日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】内部損失が少なく、しかも耐電力性が高い、特性良好かつ長寿命な弾性表面波素子を提供することにある。【構成】弾性表面波素子電極の少なくとも一部を、基板に直接接触する第1層電極と、其の上に重なる第2層電極とよりなる積層構造とし、第1層電極のマイグレーション耐性は第2層電極のマイグレーション耐性より高く、かつ、第1層電極の比抵抗は第2層電極の比抵抗よりも高くする。そのためには、Ti,Pd,Nb,Ni,Mg,Ge,Si,Co,Zn,Ta,Au,Ag,Pt,Cr,Hf,Zr,Cd,W,V,Li,Cuの中の何れかを0.1≦y≦20%含有するAl合金で第1層電極を形成させる。

請求項（抜粋）：

圧電性を有する基板上に配設した、弾性表面波を励振,伝搬または反射する電極の少なくとも一部の電極は、基板に直接接触する第1層薄膜電極と、其の上に重なる第2層薄膜電極とが、夫々異なる材料で形成された積層構造を有し、上記第1層薄膜電極のマイグレーション耐性は第2層薄膜電極のマイグレーション耐性より高く、かつ、第1層薄膜電極の比抵抗は第2層薄膜電極の比抵抗よりも高いことを特徴とする弾性表面波素子。

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