特許

J-GLOBAL ID：200903012679402769

画像測定機

発明者： 町井 暢且
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (3件)： 三品 岩男 ,  大関 光弘 ,  西村 雅子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-367176
公開番号（公開出願番号）：特開2004-198258
出願日： 2002年12月18日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

【課題】被検物にバリやゴミが付着している場合であっても、その被検物の正確な輪郭形状の測定を実現することが出来る画像測定機を提供することを目的とする。【解決手段】画像測定機に、被検物を撮像し光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像部4と、前記撮像部4の撮像領域内に設定されるエッジ検出領域内にある前記被検物の輪郭形状のエッジを、前記電気信号に基づいて検出する画像処理部18と、複数の検出済みのエッジ位置に基づいて次のエッジ位置を予測し、前記画像処理部18が検出したエッジ位置が、該予測したエッジ位置から所定の差以上離れていた場合に、その検出したエッジ位置を輪郭形状測定の測定点から外す輪郭形状測定部19と、を設ける。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

被検物を撮像し、光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像手段と、 前記撮像手段の撮像領域内に設定されるエッジ検出領域内にある前記被検物の輪郭形状のエッジ位置を前記電気信号に基づいて検出するエッジ検出手段と、 複数の検出済エッジ位置に基づいてエッジ位置を予測する予測手段と、 前記予測手段が予測したエッジ位置に基づいて設定されたエッジ検出領域内から前記エッジ検出手段が検出したエッジ位置が、前記予測手段の予測したエッジ位置から所定値以上離れていた場合に、その検出したエッジ位置を輪郭形状測定の測定点から外す判断手段と、を有すること を特徴とする画像測定機。

IPC (4件)：

G01B11/24 ,  G01B11/00 ,  G06T1/00 ,  G06T7/60

FI (5件)：

G01B11/24 A ,  G01B11/00 H ,  G06T1/00 300 ,  G06T7/60 150S ,  G06T7/60 300A

Fターム (30件)：

2F065AA12 ,  2F065AA51 ,  2F065BB24 ,  2F065DD04 ,  2F065DD11 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL05 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  5B057AA20 ,  5B057BA19 ,  5B057CA12 ,  5B057CB12 ,  5B057CH01 ,  5B057DA07 ,  5B057DC16 ,  5L096BA20 ,  5L096CA02 ,  5L096CA24 ,  5L096FA06