特許
J-GLOBAL ID：200903012687389780
円筒面研摩装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
乗松 恭三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-118252
公開番号（公開出願番号）：特開平5-285816
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 被研摩物の円筒面を敏速に研摩可能とする。【構成】 被研摩物1をチャッキング装置3、5で保持して回転させ、その被研摩物1に研摩ヘッド10の研摩テープ15を押し付けて砥粒による機械研摩を行うと同時に、その研摩位置に腐食液ノズル25から腐食液を供給して研摩面の金属を溶出させ、機械研摩と化学研摩を同時に行うことによって敏速な研摩を行い、その後洗浄液ノズル30から洗浄液を被研摩物1に供給して腐食液を洗い流し、腐食を停止させるように構成する。
請求項（抜粋）：
研摩すべき円筒面を備えた被研摩物を保持して回転させる被研摩物保持回転装置と、該被研摩物保持回転装置に保持された被研摩物を機械研摩する機械研摩手段を備えた研摩ヘッドと、該研摩ヘッドを前記被研摩物に沿って移動させる研摩ヘッド横送り装置と、前記研摩ヘッドに取り付けられ、その研摩ヘッドによる研摩位置に腐食液を供給する腐食液ノズルと、前記被研摩物の被研摩面に洗浄液を供給する洗浄液ノズルと、前記被研摩物の下方に配置された廃液パンとを有する円筒面研摩装置。
IPC (2件)：
B24B 21/00
, C23F 1/08 103
