特許

J-GLOBAL ID：200903012688190901

液体プラズマ発生方法及びその装置

発明者： 藤村 忠正 ,  鵜養 剛 ,  奥野 善次郎
出願人/特許権者： 藤村 忠正
代理人 (1件)： 黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-167727
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345699
出願日： 1998年06月01日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】 新規な作動液体搬送系を用いた液体プラズマ発生方法及びその装置を提供する。【解決手段】 陰極4と陽極2との間に発生させたアークで液体蒸気を電離させてプラズマを作る液体プラズマ装置において、該液体を収容する液収容部の液体24を、交番電気エネルギーを機械振動に変換する素子28で液滴化してアーク発生箇所11側に供給することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

陰極と陽極との間に発生させたアークで液体を気化させた蒸気を電離させてプラズマを作る液体プラズマ発生方法において、該液体を収容する液収容部の液体を、交番電気エネルギーを機械振動に変換する素子で液を滴化してアーク発生箇所側に供給することを特徴とする液体プラズマ発生方法。

IPC (3件)：

H05H 1/32 ,  B23K 10/02 ,  H05H 1/36

FI (3件)：

H05H 1/32 ,  B23K 10/02 A ,  H05H 1/36