特許

J-GLOBAL ID：200903012690278042

ビーム検出信号の処理回路

発明者： 駒形 正
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-205878
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050244
出願日： 1996年08月05日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】 走査信号のノイズ等に影響されず、正確な検出信号を得ることができるビーム検出信号の処理回路を実現する。【解決手段】 検出信号はAD変換器15によってディジタル信号に変換された後、第1の演算回路16に供給される。また、走査信号発生回路11からの走査信号は、AD変換器17によってディジタル信号に変換された後、第2の演算回路18に供給される。走査信号のAD変換データをS(i)とし、検出信号のAD変換データをD(i)とすると、第1の演算回路16は検出信号の変化量S(i+1)-S(i)を求め、第2の演算回路18は走査信号の変化量D(i+1)-D(i)を求める。この2種の変化量はそれぞれ比較回路19に供給され、両者の比H(i)が求められる。この比H(i)は、走査信号に含まれるノイズ成分による影響がなくなり、理想的な走査信号に基づく検出信号を表すことになる。

請求項（抜粋）：

ビームを直線状のエッジを有した部材を横切って走査し、この走査に伴って得られた信号を検出し、この検出信号を処理する回路において、検出信号の変化量と走査信号の変化量の相関演算を行うようにしたビーム検出信号の処理回路。

IPC (5件)：

H01J 37/04 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01J 37/04 A ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 N ,  H01L 21/30 551