欠陥検査装置及び欠陥検査方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：二瓶正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-110061
公開番号（公開出願番号）：特開平9-273999
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】欠陥の個別認識機能を有したまま、検査対象の蛇行に自動追従して検査することを可能とする。【解決手段】検査対象物の検査位置における画像データを得るラインイメージセンサからの出力信号から検査対象物のエッジを検出し、求められたエッジの座標近傍を境に、その外側については画像データの値に拘らず欠陥を検出しないよう2値化のためのしきい値を所定値に設定し、かつエッジ座標の内側については予め指定された値あるいは、画像データの関数値をしきい値として設定し、第1及び第2のしきい値記憶手段に記憶しておき、ラインイメージセンサからの出力信号をこの第1及び第2のしきい値記憶手段に記憶されたしきい値を用いて2値化するようにしている。また、連結性処理並びにしきい値の書き込みの並列処理を行う。

請求項（抜粋）：

走行する検査対象物の走行方向にほぼ垂直方向に走査して前記検査対象物の検査位置における画像データを得るラインイメージセンサと、前記ラインイメージセンサの出力画像データから前記検査対象物のエッジを検出するエッジ検出手段と、前記ラインイメージセンサの出力画像データを2値化する2値化手段と、前記2値化手段が2値化を行うために必要なしきい値を記憶する第1と第2のしきい値記憶手段と前記エッジ検出手段により求められた前記エッジの座標近傍を境に、その外側については画像データの値に拘らず欠陥を検出しないよう前記しきい値を所定値に設定し、かつ前記エッジ座標の内側については予め指定された値あるいは、前記画像データの関数値を前記しきい値として設定するしきい値設定手段と、前記2値化手段にて得られる2値画像データの変化点アドレスを得るためのランレングス符号化手段と、前記ランレングス符号化手段から出力される前記ラインイメージセンサにおける複数行分のランレングス符号をそれぞれ記憶する第1と第2のランレングス符号記憶手段と、前記第1と第2のランレングス符号記憶手段に記憶されたランレングス符号に対して連結性処理を行い検査対象物の欠陥を検出する連結性処理手段と、前記第1と第2のランレングス符号記憶手段の一方への前記ランレングス符号化手段から出力されるランレングス符号の入力が終了した後に、そのランレングス符号を読み出して前記連結性処理手段に連結性処理を実行させ、前記第1と第2のランレングス符号記憶手段の他方への前記ランレングス符号化手段から出力されるランレングス符号の入力が終了した後に、そのランレングス符号を読み出して前記連結性処理手段に連結性処理を実行させることにより、前記第1のランレングス符号記憶手段への入力と前記第2のランレングス符号記憶手段からのランレングス符号を用いた連結性処理を実質的に並列処理し、前記第2のランレングス符号記憶手段への入力と前記第1のランレングス符号記憶手段からのランレングス符号を用いた連結性処理を実質的に並列処理するよう制御する第1制御手段と、前記第1と第2のしきい値記憶手段の一方のしきい値を用いて前記2値化手段が2値化を実行しているときに、前記連結性処理手段による連結性処理が終了した後にしきい値の決定を行い、決定されたしきい値を前記第1と第2のしきい値記憶手段の他方に書き込むことにより前記第1のしきい値記憶手段からのしきい値の読み出しと前記第2のしきい値記憶手段へのしきい値の書き込みを実質的に並列処理し、かつ前記第2のしきい値記憶手段からのしきい値の読み出しと前記第1のしきい値記憶手段へのしきい値の書き込みを実質的に並列処理するよう制御する第2制御手段とを、有する欠陥検査装置。

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