静圧流体軸受

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-358644
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190339
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】静圧流体軸受の分解能、応答性、真直度、位置決め再現性等の特性を向上させる。【解決手段】ガイド軸をなす第1部材1と、該第1部材1を囲繞するスライダーとしての第2部材2との隙間に圧縮流体を供給して上記スライダーとしての第2部材2を非接触の状態で静圧支持させるとともに、駆動手段として超音波振動子6の振動に伴って楕円振動する振動体7を備えた超音波モータ5を用い、該超音波モータ5を振動体7が前記第1部材1と当接するように第2部材2に配置して静圧流体軸受を構成する。

請求項（抜粋）：

第1部材と該第1部材を囲繞する第2部材とからなり、上記第1部材と第2部材との隙間に圧縮流体を供給して静圧流体層を形成し、上記第1部材又は第2部材を非接触の状態で移動又は回転させてなる静圧流体軸受において、超音波振動子の振動に伴って楕円振動する振動体を備えた超音波モータを前記第2部材に配設し、上記超音波モータの駆動力により前記第1部材又は第2部材を移動又は回転させるようにしたことを特徴とする静圧流体軸受。

IPC (4件)：

F16C 32/06 , B23Q 1/38 , H02N 2/00 , H01L 21/68

FI (4件)：

F16C 32/06 Z , H02N 2/00 C , H01L 21/68 K , B23Q 1/26 E

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