特許

J-GLOBAL ID：200903012708861840

光波干渉計測装置

発明者： 山浦 均
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-043377
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240602
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、ビームの一致度を確保できるとともに周波数のクロストークも除去できる光波干渉計測装置を提供することを目的としたものである。【構成】 本発明は、周波数差(ν0 -ν0 ́)を有し互いに直交する偏波面を有する2つの直線偏光を含むコヒーレント光Lを2つに分離し、各々に異なる周波数変換ν1 ,ν2 を施し、その一方を測定対象物に関与させて2つの直線偏光に位相差を付与した後に分離し、この分離した2つの偏光光La2V,Lb2H のそれぞれを、上記コヒーレント光Lを2つに分離したうちの他方のコヒーレント光に含まれる2つの偏光光を分離して得た2つの偏光光La1V ,Lb1H の各々と合波して干渉させることによって測定ビート信号と参照ビート信号との2つのビート信号(周波数;|ν1 -ν2 |)を得てこれを比較することにより、測定対象物によって生じた位相変化を求めるようにしたもので、これにより、周波数のクロストークやビームの不一致による誤差が生じないようにしたものである。

請求項（抜粋）：

互いに一定の周波数差を有しているとともに互いに直交する偏波面を有する2つの直線偏光を含むコヒーレント光を得るコヒーレント光発生装置と、このコヒーレント光発生装置から射出されたコヒーレント光を2つに分離する第1光分離装置と、この2つに分離したコヒーレント光の少なくとも一方に周波数変換を施して2つのコヒーレント光に周波数差を与える周波数変換装置と、前記周波数変換装置によって周波数差を付与された2つのコヒーレント光のうちの一方を測定対象物に関与させて該コヒーレント光に含まれる2つの直線偏光に位相差を付与した後に射出する測定光学系と、前記測定光学系から射出されたコヒーレント光に含まれる2つの直線偏光を分離する第2光分離装置と、前記周波数変換装置によって周波数差を付与された2つのコヒーレント光のうちの他方に含まれる2つの直線偏光を分離する第3光分離装置と、前記第2光分離装置によって分離された2つの直線偏光のうちの一方と、前記第3光分離装置によって分離された2つの直線偏光のうちの一方とを合波して第1干渉光を得る第1干渉光学系と、前記第2光分離装置によって分離された2つの直線偏光のうちの他方と、前記第3光分離装置によって分離された2つの直線偏光のうちの他方とを合波して第2干渉光を得る第2干渉光学系と、前記第1干渉光を検出する第1光検出器と、前記第2干渉光を検出する第2光検出器と、前記第1光検出器の出力信号と第2光検出器の出力信号とを入力して両者の位相差に依存する物理量を計測する位相差計測装置とを有する光波干渉計測装置。