特許
J-GLOBAL ID：200903012710584706
流速センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-301860
公開番号（公開出願番号）：特開平5-307045
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 感温膜における温度の検出と温度の制御を別々に行うことができるようにし、感温膜が安定した経時的特性を示す小型の流速センサを提供する。【構成】 シリコン基板1の一方の表面にヒータ2が形成されている。ヒータ2は、たとえばボロン等のp型不純物による拡散層により形成されている。ヒータ2の上面には絶縁膜3が形成されており、この絶縁膜3上に感温膜4が形成されている。感温膜4と、この感温膜4の加熱を行うヒータ2が別々に形成されているため、感温膜4による温度検出と、感温膜4の温度制御とを別々に行うことができる。したがって、感温膜4において温度変化を検出しながら、ヒータ2に流す電流を制御し、感温膜4を流速測定に適した温度に加熱することができる。
請求項（抜粋）：
対向する2面を有するセンサ基板と、このセンサ基板に設けられ、被検出流体中における温度変化を検出する感温膜と、前記センサ基板上に感温膜とは別に設けられ、前記感温膜を所定の温度に加熱するヒータとを備えたことを特徴とする流速センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭63-282662
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特開昭57-093212
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