特許

J-GLOBAL ID：200903012712111554

プラズマエッチング装置

発明者： デビッド エイチ トレイシー
出願人/特許権者： ラム リサーチ コーポレイション
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-096838
公開番号（公開出願番号）：特開平10-030195
出願日： 1986年06月24日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】 プラズマエッチング装置において迷走放電を低減する。【解決手段】 エッチングを行なうための接地した反応チャンバと、エッチングすべきフィルムを載せたウエハを受けるための対向電極および支持電極と、接地されていない無線周波電源とを有し、前記対向電極および支持電極は前記反応チャンバの壁から絶縁されており、前記無線周波電源は、前記対向電極と支持電極間に接続されており、前記両電極から前記反応チャンバへの放電を最小にしつつ、エッチング動作を行なわせるためのものであり、前記無線周波電源は、前記対向電極と支持電極との間に接続された2次巻線を備えた整合変圧器を有し、前記2次巻線に並列にインダクタンスが接続されており、該インダクタンスによって前記チャンバに接続された素子の容量効果が減少させるように構成する。

請求項（抜粋）：

プラズマエッチング装置において、エッチングを行なうための接地した反応チャンバと、エッチングすべきフィルムを載せたウエハを受けるための対向電極および支持電極と、接地されていない無線周波電源とを有し、前記対向電極および支持電極は前記反応チャンバの壁から絶縁されており、前記無線周波電源は、前記対向電極と支持電極間に接続されており、前記両電極から前記反応チャンバへの放電を最小にしつつ、エッチング動作を行なわせるためのものであり、前記無線周波電源は、前記対向電極と支持電極との間に接続された2次巻線を備えた整合変圧器を有し、前記2次巻線に並列にインダクタンスが接続されており、該インダクタンスによって前記チャンバに接続された素子の容量効果が減少させることを特徴とする、プラズマエッチング装置。

IPC (2件)：

C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭55-119175
  
• 特開昭61-295381
  
• 特開昭60-189925