膜形成用組成物、膜の形成方法および低密度膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174344
公開番号（公開出願番号）：特開2001-002989
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【目的】誘電率特性、機械強度等に優れた膜形成用組成物を得る。【構成】 (A)シラン化合物が下記一般式(1)で表される化合物R1aSi(OR2)4-a ・・・・・(1)(R1は水素原子、フッ素原子または1価の有機基を示し、R2は1価の有機基を示し、aは0〜2の整数を表す。)および下記一般式(2) で表される化合物 R3b(R4O)3-bSi-(R7)d-Si(OR5)3-cR6c ・・・・・(2)(R3、R4、R5およびR6は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を示し、bおよびcは、同一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R7は酸素原子または-(CH2)n-で表される基を示し、nは1〜6を、dは0または1を示す。)からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物の加水分解物および縮合物もしくはいずれか一方ならびに(B)環状アミン化合物あるいはその塩を含むことを特徴とする膜形成用組成物。

請求項（抜粋）：

(A)上記一般式(1)で表される化合物を2種以上使用することを特徴とする請求項1記載の膜形成用組成物。

IPC (17件)：

C09D183/04 , B05D 3/02 , C08G 77/18 , C08J 5/18 CFH , C08J 9/26 CFH , C08J 9/26 102 , C08K 5/09 , C08K 5/34 , C08L 33/04 , C08L 67/00 , C08L 69/00 , C08L 71/02 , C08L 73/02 , C08L 83/06 , C09D201/00 , H01L 21/312 , H01L 21/316

FI (17件)：

C09D183/04 , B05D 3/02 Z , C08G 77/18 , C08J 5/18 CFH , C08J 9/26 CFH , C08J 9/26 102 , C08K 5/09 , C08K 5/34 , C08L 33/04 , C08L 67/00 , C08L 69/00 , C08L 71/02 , C08L 73/02 , C08L 83/06 , C09D201/00 , H01L 21/312 C , H01L 21/316 H

Fターム (109件)：

4D075BB26Z , 4D075CA21 , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075DC22 , 4D075EB42 , 4F071AA33 , 4F071AA43 , 4F071AA50 , 4F071AA51 , 4F071AA67 , 4F071AA69 , 4F071AC09 , 4F071AC12 , 4F071AH12 , 4F071BA02 , 4F071BB02 , 4F071BB12 , 4F071BC01 , 4F071BC11 , 4F074AA48 , 4F074AA67 , 4F074AA92 , 4F074AD09 , 4F074AD10 , 4F074AD13 , 4F074CB02 , 4F074CB17 , 4F074CC04X , 4F074CC04Y , 4F074CC32X , 4F074CC32Y , 4F074DA02 , 4F074DA59 , 4J002BG042 , 4J002BG052 , 4J002CF182 , 4J002CF192 , 4J002CG012 , 4J002CH022 , 4J002CH052 , 4J002CJ002 , 4J002CP051 , 4J002CP081 , 4J002DD017 , 4J002DF027 , 4J002DG047 , 4J002DH027 , 4J002EF037 , 4J002EF057 , 4J002EF067 , 4J002EF097 , 4J002EF117 , 4J002EF127 , 4J002EN117 , 4J002EU026 , 4J002EU046 , 4J002EU076 , 4J002EU106 , 4J002EU116 , 4J002EU136 , 4J002EU206 , 4J002EV237 , 4J002GQ00 , 4J035BA06 , 4J035CA061 , 4J035CA112 , 4J035CA142 , 4J035CA162 , 4J035EB03 , 4J035EB04 , 4J035LA03 , 4J035LB18 , 4J038CG002 , 4J038DD002 , 4J038DE002 , 4J038DL051 , 4J038DL052 , 4J038HA096 , 4J038HA326 , 4J038HA366 , 4J038HA406 , 4J038JA35 , 4J038JB27 , 4J038JB28 , 4J038JB29 , 4J038JB32 , 4J038JB33 , 4J038JB35 , 4J038JB36 , 4J038KA06 , 4J038NA11 , 4J038NA17 , 4J038PA19 , 4J038PB09 , 4J038PC02 , 4J038PC03 , 4J038PC08 , 5F058AA02 , 5F058AA10 , 5F058AB05 , 5F058AB07 , 5F058AB10 , 5F058AC03 , 5F058AC04 , 5F058AD01 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH02

前のページに戻る