特許

J-GLOBAL ID：200903012724039239

露光装置

発明者： 平柳 徳行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373333
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189258
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】 素早くウエハの交換を行うことができ、スループットの向上を図ることができる露光装置を提供する。【解決手段】 チャック14の吸着面14Aには、複数の溝14Bが掘られている。この溝14Bには、ガス供給源19によりHeガスが充填される。溝14Bに充填されたHeガスは、バルブ24を開いた後、真空ポンプ22により排気できる。ガス制御装置25の推定部32は、記憶部30の記憶結果や計算部31の計算結果を基にして、チャック14の溝14Bの排気を行う適当な時刻を推定する。そして、ウエハ17の露光中に、推定部32が推定した時刻にバルブ24を開いて真空ポンプ22を作動することにより、チャック14の溝14Bの排気を開始する。

請求項（抜粋）：

エネルギービームを感応基板上に結像させる光学系と、感応基板を吸着保持するチャックと、光学系の光路及びチャックの周囲を減圧雰囲気下に維持する真空室と、を具備する露光装置であって;上記チャックの吸着面と感応基板の被吸着面との間に伝熱ガスを導入する手段と、該伝熱ガスを排気する手段と、を備え、感応基板をチャック上に吸着させた後に伝熱ガスを導入し、次いで露光を開始し、露光動作中に適当なタイミングを設定して伝熱ガスの排気を開始することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/30 503 C

Fターム (7件)：

5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046DA26 ,  5F046DA27 ,  5F056EA14 ,  5F056EA17